01 · Filtration
过滤：颗粒、凝胶与微气泡
覆盖配方生产端批量过滤、循环过滤、灌装前终端过滤和涂胶显影设备 POU 过滤。需要共同确认膜材吸附、润湿、通量、压差、滞留量和接口。
进入光刻胶过滤方案Photoresist & photochemical solutions
光刻胶及配套化学品过滤、纯化、灌装方案
围绕光刻材料从上游原料、配方生产、灌装产线、洁净包装、运输分配到晶圆厂设备点位的完整链路，控制颗粒、凝胶、金属离子、微气泡和包装带入污染。
覆盖材料：光刻胶显影液BARCEBR光刻溶剂树脂与聚合物EUV / MOR / NIL
光刻胶生产线的过滤、纯化和灌装如何布置？ 先根据颗粒、凝胶或溶解态金属离子选择作用机制，再按原料、配方、循环、灌装前终端、包装及客户端 POU 分配控制点。一条线不能只靠某一支滤芯或某一种包装解决全部污染问题。
具体布置需以化学品 SDS、配方边界、目标值、产能、压差、洁净安全、包装和厂务条件为准。
Process chain
同一种化学品，在不同位置需要不同控制机制
先确定污染物与工艺位置，再讨论品牌、膜材、精度、容器或连接器。
02 · Purification
纯化：金属离子与痕量杂质
重点区分颗粒截留与离子交换/吸附机制。前体溶剂、树脂与聚合物可评估去金属方向；成品 CAR、MOR 等材料必须验证功能组分是否被非目标吸附。
进入去金属与纯化专题
03 · Filling line & packaging
灌装：产线设备与洁净包装
灌装产线设备和 NOWPak 包装容器是两个并列范围：前者确认工况、产能、精度、自动化、洁净、安全与现场接口；后者确认容器、内衬、封盖、键码、连接器和客户端分配。
进入灌装产线与包装方案Decision matrix
先按问题找入口
客户不必先知道产品型号，描述材料与异常也可以开始。
For whom
面向材料、制造与设备三类团队
用同一套边界条件连接材料研发、工艺、设备与采购。
材料厂
配方生产、终端过滤、纯化、灌装产线和客户端包装接口。
晶圆厂
来料质量、设备点位过滤、缺陷追溯、换料和包装分配。
设备与工程团队
过滤器、灌装设备、PFA 流路、自动化与包装连接接口。
FAQ
光刻胶化学品方案常见问题
明确服务能力与工程验证边界。
众睿芯可以服务哪些光刻胶相关化学品？
可从成品光刻胶、显影液、BARC、EBR 与光刻溶剂，以及上游溶剂、树脂、聚合物等材料开始确认。具体产品适用性仍需结合 SDS、关键组分、黏度、污染目标与工艺位置评估。
过滤和纯化有什么区别？
过滤主要控制颗粒、凝胶和部分微气泡相关问题；纯化面向溶解态金属离子或其他痕量杂质。两者的作用机制、验证指标和对配方的风险不同，不能只用过滤精度互相替代。
众睿芯是否提供光刻胶代灌装加工？
本网站当前的灌装范围包括灌装产线设备需求、洁净包装容器和分配接口的方案梳理与项目协调，不将众睿芯表述为代灌装加工厂。具体设备组成、自动化等级、安全要求与交付范围以项目书面确认为准。
没有现用滤芯或包装型号，能否开始选型？
可以。建议提供化学品名称与 SDS、配方体系、黏度、流量、温度、污染控制目标、工艺位置、容积、接口和验证计划，我们会先整理缺失条件与候选方向。
Photoresist chemical inquiry
先告诉我们是什么化学品、哪里出了问题
深圳团队会先判断过滤、纯化、灌装产线设备与包装三个环节中，哪一段最值得优先确认。