Wet Process Chemical Filtration
FAB 湿法槽液与设备点位颗粒过滤
面向晶圆厂（FAB）湿法清洗与蚀刻设备中的酸碱槽液、清洗液和循环回路，从槽体、泵、管路与设备点位控制不溶性颗粒和析出风险。本页不承接材料厂生产端金属离子纯化意图。
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Process view
按工艺链路拆解需求
同一个产品名称，在不同位置可能对应不同的材料、流量、压差和维护要求。
- 01
FAB 化学品入口
确认槽液介质、浓度、温度、来料洁净度与批次管理方式。
- 02
槽体与循环回路
梳理槽体、泵、管路、阀门及循环过滤位置，识别颗粒产生点。
- 03
湿法设备点位
根据工艺流量、压差、材料兼容性与维护空间确认颗粒过滤器和滤壳。
- 04
换液与设备维护
结合压差、槽液寿命、缺陷数据和停机窗口制定更换与冲洗策略。
FAQ
应用常见问题
FAB 酸碱槽液和溶剂可以使用同一种过滤器吗？
不能只按过滤精度通用。需要分别确认膜材、支撑材料、密封、温度、浓度和润湿条件。
湿法槽液颗粒升高一定是滤芯问题吗？
不一定。还应排查管路析出、泵磨损、槽体清洁、换液操作、旁路和安装密封等颗粒来源。
Application inquiry
从一段工况描述开始
把设备位置、介质、参数和当前问题告诉我们，我们会整理下一步确认清单。