Gas Purification

气体纯化

面向工艺气体中的水、氧和其他痕量杂质控制,根据气体种类、入口杂质、目标纯度、流量、压力和使用周期协助整理纯化器产品范围。

Entegris GateKeeper 气体纯化器系列

Used & stocked gas purifiers

二手及库存气体纯化器

覆盖氢气、氮气、氨气和氧气设备。按型号、气体、流量、压力、电气、接口与设备状态逐项确认,二手设备业务与 Entegris 授权新品、Pall 新品服务独立沟通。

ATTO 氢气纯化器历史资料图
13项设备资料

Product families

常见产品系列

具体系列、可选规格和供货状态以实际项目确认为准。

GateKeeper®点位及气路相关气体纯化产品系列。
MegaTorr®面向高纯气体杂质控制的纯化产品系列。
Gas Purification Systems根据流量与杂质控制需求配置的系统级产品。

Applications

常见应用场景

产品是否适用仍需结合具体介质、设备和工艺条件确认。

01

高纯载气与惰性气体

02

氢气及工艺气体

03

MOCVD 与化合物半导体

04

实验室与设备端纯化

FAQ

选型常见问题

先把边界条件说清楚,通常能显著减少询价往返。

纯化器能否只按流量选择?

不能。气体种类、入口杂质负载、目标纯度、压力和寿命预期都会影响产品确认。

如何评估纯化器更换周期?

需要结合实际流量、运行时间、入口杂质和设备工况估算,并以对应产品资料和现场数据为准。

资料来源:Entegris 官方产品页面。本站不是 Entegris 官方网站,页面用于中文需求整理与本地服务,不替代品牌正式技术文件。

访问 Entegris 官方资料

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