Process Gas Point-of-use Filtration

沉积与刻蚀设备端气体过滤

针对 CVD、ALD、刻蚀、离子注入等设备端工艺气路，按气体兼容性、流量、温压、接口和安装位置确认点位过滤。

客户常搜：CVD 设备端气体过滤器ALD 工艺气路颗粒控制刻蚀机台气体过滤point of use gas filter

Process view

按工艺链路拆解需求

同一个产品名称，在不同位置可能对应不同的材料、流量、压差和维护要求。

设备端气体过滤器可以只按接口替换吗？

不可以。外形和接口相同仍可能存在过滤介质、额定流量、压力、温度和气体兼容性的差异。

过滤器应装在气柜还是机台端？

两处承担的风险和流量条件不同。需要结合系统污染来源、维护边界和敏感点位决定，项目中也可能分级配置。

Application inquiry

把设备位置、介质、参数和当前问题告诉我们，我们会整理下一步确认清单。